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原廠原裝??！EBARA荏原 干式真空泵 EST型

原廠原裝??！EBARA荏原 干式真空泵 EST型 EST25N
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

  • 更新時(shí)間：2025-03-24
  • 產(chǎn)品型號(hào)：EST25N
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：225
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產(chǎn)品詳情

原廠原裝??！EBARA荏原 干式真空泵 EST型   EST25N

原廠原裝??！EBARA荏原 干式真空泵 EST型   EST25N



EST 類型

干式真空泵可抽取大量氣體，適用于反應(yīng)副產(chǎn)物

高溫控制
高抽速
高流量排氣
采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準(zhǔn)
提高耐腐蝕性的選擇
高負(fù)荷工藝支持
不同頻率下性能相同（50/60Hz）
無油
符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

產(chǎn)品介紹

EST型采用螺桿轉(zhuǎn)子，并配備高溫功能，可使泵內(nèi)的氣體保持高溫，非常適合CVD等產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用。

標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料，實(shí)現(xiàn)高抽速和大流量，減少停機(jī)時(shí)間并提高工藝效率。


規(guī)格

模型單元EST10NEST25NEST100WNEST200WNEST300WNEST500WNEST800WN
抽氣速度升/分鐘1,0002,50010,00020,00030,0005萬8萬
極限壓力帕2.70.40.40.40.40.40.5
連接尺寸進(jìn)氣
NW40NW40NW50NW100NW100ISO160ISO200
排氣口
NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40
極限壓力下的近似功率值千瓦2.333.23.24.54.64.6
冷卻水流動(dòng)升/分鐘5~85~85~85~85~85~85~8
溫度℃最大限度。三十最大限度。三十最大限度。三十最大限度。三十最大限度。三十最大限度。三十最大限度。三十
氮?dú)?/td>流動(dòng)帕•立方米/秒13~1813~1824~2924~2928~3128~3128~31
電源相位/電壓/頻率200V 型號(hào)
三相/200-220V，50/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型號(hào)
三相/380-440V，50/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		-
供電容量千伏安4.67.38.28.512.715.116
近似質(zhì)量公斤260300380430500550840



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